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2017-01-05
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濺射氣壓對磁控濺射成膜性能的影響鄭建潮   浙江大學信電系在直流磁控濺射過程中, 濺射氣壓( 工作氣壓)是一個很重要的參數, 它對濺射速率, 沉積速率以及薄膜的質量都有很大的影響。氣體分子從一次碰撞到相鄰的下一次碰撞所通過的距離的統計平均值, 稱之為平均自由程。從分子的平均自由程的角度來說, 濺射氣體壓力低時濺射粒子的平均自由程大, 與氣體離子的碰撞的幾率小, 使沉積速率增大。但是, 濺射氣...

可以用來制備ITO薄膜的成膜技術很多,如磁控濺射沉積 、真空蒸發沉積和溶膠- 凝膠( Sol -Gel)法等。1 磁控濺射沉積磁控濺射沉積可分為直流磁控濺射沉積和射頻磁控濺射沉積。直流磁控濺射是目前應用較廣的鍍膜方法,一般使用導電銦錫合金靶,濺射室抽真空后除了要通入惰性氣體Ar ,還要通入反應氣體O2 。濺射的基本過程:靶材是需要濺射的材料作為陰極,作為陽極的襯底加有數千伏的電壓。在對系統預...

【編者按】壯大戰略性新興產業是經濟高質量發展的動力引擎。站在2023年的新起點,澎湃園區懇談會推出新春特輯“浪尖2023”,五問經濟學家、產業專家、企業高管、投資人,尋求元宇宙、芯片、光刻機、氫能、自動駕駛、機器人、腦機接口、創新藥等產業的突破點。 傅小凡 制圖澎湃新聞:您認為2022年中國芯片產業最熱的關鍵詞有哪些?傅志偉:我覺得有這樣幾個關鍵詞,應該也是行業里的普遍共識,第一個是“直面打...

【編者按】壯大戰略性新興產業是經濟高質量發展的動力引擎。站在2023年的新起點,澎湃園區懇談會推出新春特輯“浪尖2023”,五問經濟學家、產業專家、企業高管、投資人,尋求元宇宙、芯片、光刻機、氫能、自動駕駛、機器人、腦機接口、創新藥等產業的突破點。 傅小凡 制圖澎湃新聞:您認為2022年中國芯片行業中最熱的關鍵詞有哪些?景昕:對于我們這個行業來講,我第一個想到的關鍵詞是“對外合作”。疫情三年...

2022年已經過去,回看過去的一年,芯片行業的發展并不平靜!一邊是美國公布《芯片法案》,臺積電赴美建廠,另一邊也傳來消息,中國正在為國內的半導體行業制定超過1萬億人民幣的支持計劃;一邊是各大媒體紛紛報道華為麒麟芯片庫存殆盡;另一邊華為要造光刻機的消息聲勢浩大,還有蔚來組建300人團隊自研芯片等消息層出不窮。在鋪天蓋地的網絡消息之下,“國家會不會放棄芯片的發展?”“芯片行業寒冬來了嗎” “中國...

癸卯兔年已拉開序幕。對于自主汽車芯片行業來講,新的一年將迎來智能化競爭的“賽點”。如今,隨著整車電子電氣架構的集中化,汽車芯片功能越來越復雜,分類也越來越細化,不同功能、不同種類的產品開始呈現多樣發展態勢。再加上碳化硅等新材料及新技術的推廣,相信2023年自主汽車芯片產業將精彩紛呈。1摩爾定律或將延續 芯片良率有待提高作為底層基石,芯片的先進性在一定程度上決定了汽車的智能化程度。在汽車電動化...

轉自:前瞻產業研究院行業主要上市公司:宏微科技(93.410, -3.49, -3.60%)(688711);斯達半導(327.950, 3.98, 1.23%)(603290);華潤微(56.620, 0.40, 0.71%)(688396);時代電氣(56.820, 0.03, 0.05%)(688187);士蘭微(36.390, 0.41, 1.14%)(600460);比亞迪(302...

1、氧化鋁基本性能參數2、鍍氧化鋁膜的特點3、鍍氧化鋁膜的方法 鍍氧化鋁膜的方法主要分為物理氣相沉積(PVD)和化學氣相沉積(CVD),其中物理氣相沉積主要有蒸鍍法和磁控濺射法,蒸鍍法根據加熱方式不同分為電阻加熱、高頻感應加熱和電子束加熱三種,其中電阻加熱的溫度可達1600℃,而電子束和高頻感應加熱可達3000℃。磁控濺射法相比于蒸鍍法,其膜層與基材結合力強、膜層致密性及均勻性好?;瘜W氣相沉...

鍺的應用簡介鍺是重要的半導體材料,在半導體、航空航天測控、核物理探測、光纖通訊、紅外光學、太陽能電池、化學催化劑、生物醫學等領域都有廣泛而重要的應用。根據美國地質調查局數據顯示(2015)全球鍺終端用戶所占比例如下:纖維光纖30%;紅外光纖20%;聚合催化劑20%;電子和太陽能器件15%和其他(熒光粉、冶金、和化療)15%。光纖摻鍺光纖具有容量大、光損小、色散低、傳輸距離長及不受環境干擾等優...

真空設備檢漏注意事項一、真空設備設計中的注意事項1、根據設備的工藝要求,確定真空設備的總的最大允許漏率,并依據這一總漏率確定各組成部件的最大允許漏率?! ?、根據設備的最大允許漏率等指標,在設計階段就初步確定將要采用的檢漏方法,并將其作為指導調試驗收的基本原則之一?! ?、根據設備或部件的最大允許漏率指標,決定設備的密封、連接方式和總體加工精度,以及何種動密封形式能夠滿足要求。如,法蘭采用金...

真空鍍鋁膜性能指標及厚度測量方法一、鍍鋁膜厚度測量方法鍍鋁膜厚度測量一般采用下述三種方法。第一種是光密度法,以光線透過鍍鋁膜的密度來衡量。用光密度計量鍍鋁層厚度的優點是方便、準確,測量結果不易受表面氧化層的影響。光密度值與入射光波長有關。第二種是采用表面方塊電阻測量。此法簡單實用,一般鋁層厚度對應的表面電阻一般在1~2。取樣或寬1cm長,10cm的電阻值在1~20之間。鍍膜剛下卷時,鋁層表面...

鉑又稱白金,價格比黃金貴,由于它有許多優良的性質,盡管出現了各種代用品,但許多分析工作仍然離不開鉑。鉑的熔點高達1774℃,化學性質穩定,在空氣中灼燒后不起化學變化,也不吸收水分,大多數化學試劑對它無侵蝕作用,耐氫氟酸性能好,能耐熔融的堿金屬的碳酸鹽。因而常用于沉淀灼燒稱重、氫氟酸溶樣以及碳酸鹽的熔融處理。鉑坩堝適用于灼燒沉淀。鉑制小舟、鉑絲圈用于有機分析灼樣品。鉑絲、鉑片常用于電化學分析中...

說到顯示技術,大家最熟悉的可能還是LCD和LED液晶顯示屏,但若您現在再去商城采購,會發現OLED(有機發光二極管)顯示技術已經成為了新的主流。OLED技術是指有機半導體材料和發光材料在電場驅動下,通過載流子注入和復合導致發光的現象。作為一種固態自發光技術,OLED不需要以前用LCD搭配LED背光源的組合,因此可以將電視厚度做得很薄,可視角度更廣、功耗更低、色彩也更豐富,并且可以在塑料、樹脂...

用粘附性判定標準值判斷薄膜粘附性好壞的一種方法與流程本發明屬于超聲表面波無損檢測領域,涉及一種薄膜粘附性好壞的判定方法。背景技術:薄膜科學在微電子領域有著重要的應用。Low-k互連是高速超大規模集成(ULSI)電路發展中的一個重要理念,由于其可以減少互連延遲,串擾以及電路的能量損耗。在low-k薄膜的各項特性中,界面粘附性是一個非常重要的特性,它顯著地影響了互連系統的穩定性和可靠性。在薄膜的...

????????????????????????????????????????????????????????????????????????????華為、小米、vivo、三星等手機品牌高端旗艦機型背后的炫彩漸變背殼鍍膜,每三個產品就有一個出自河南鍍邦光電。   一個經過功能鍍膜的手機殼,從不同角度觀看,呈現出完全不同的顏色,既不是單色,也不是漸變色,而是“無窮變色”。更神奇的是,在部分機...

???????????????3月30日,世界經濟論壇正式對外公布最新一批“燈塔工廠”名單,BOE(京東方)從全球眾多企業中脫穎而出,榮膺全球智能制造領域最高榮譽“燈塔工廠”,成為中國大陸第一家也是唯一一家入選的顯示企業,成功打造全球數智融合新典范,這也是京東方在智能制造領域的首張世界名片。燈塔工廠由世界經濟論壇與麥肯錫咨詢公司共同發起,在全球范圍內甄選第四次工業革命先進技術應用的領軍企業,...

(一) 鉑坩堝1、鉑是一種貴重金屬,焙點約為1770度,質軟,使用時不要用手捏,以防變形。也不能用玻璃棒搗刮鉑坩堝內壁,以防損傷。也不要將紅熱的鉑坩堝放人冷水中驟冷。2、鉑坩堝的加熱和灼燒,均應在墊有石棉板或陶瓷板的電爐或電熱板上進行,或在煤氣燈的氧化焰上進行,不能與電爐絲、鐵板及還原焰接觸,因為在高溫下鐵易與鉑形成合金,還原性氣體能與鉑形成碳化鉑,使鉑坩堝變脆。濾紙如在鉑坩堝中灼烷,應在低...

一、 天平的稱量方法1、 直接稱量法:對一些在空氣中無吸濕性的試樣或試劑如金屬或合金等,可用直接法稱量。稱量時將表面皿或其他稱量容器放于秤盤中央,去皮,然后將試樣置于稱量容器中,即得到試樣的質量。2、 固定質量稱量法:分析實驗中為準確稱取某一指定質量的試樣,可用固定質量法稱量。稱量時將表面皿或其他稱量容器放于秤盤中央,去皮,然后用藥勺盛試樣(試樣一般要預先研細),在容器上方輕輕振動,使試樣徐...

熱蒸發 (TE) 作為一種可擴展且低成本的有機空穴傳輸材料 (HTM) 制造技術,在鈣鈦礦太陽能電池 (PSC) 的應用中通常會產生低光伏性能和較差的器件再現性,因此顯然需要了解 TE 的弱點。廈門大學楊麗和張金寶等人報道了一種通用的制造技術,溶劑退火輔助熱蒸發 (SATE),能夠有效調節Spiro-OMeTAD 有機薄膜的形態和光電特性。 SATE方法生產的未摻雜Spiro-OMeTAD ...

甲脒三碘化鉛基鈣鈦礦太陽能電池已成為未來可用于開發光伏技術的最有希望的候選者之一。鈣鈦礦太陽能電池組件 (PSCM) 的商業用途受到限制,因為制造高質量、高效和穩定的大面積鈣鈦礦吸光薄膜具有挑戰性。成均館大學Gill Sang Han和Hyun Suk Jung等人采用十七氟辛烷磺酸四乙基銨鹽(HFSTT),含有氟化長烷基鏈作為疏水尾和磺酸基(SO3-)作為親水頭,改善了大面積薄膜均勻制造、...

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